Í PECVD-ferlinu (Plasma-to-Chemical Vapo Deposition) hefur hver rafmagnstenging, frá RF-aflsflutningi til stjórnun á ferlisgasi, bein áhrif á einsleitni þunnfilmuútfellingarinnar og flísafköst. Frammi fyrir erfiðu umhverfi smækkaðs búnaðar, mikils lofttæmis og sterkra rafsegultruflana,WAGOpicoMAX® tengi, með þremur kjarnakostum sínum: „þéttleika, áreiðanleika og skilvirkni“, hafa orðið hin fullkomna tengilausn fyrir PECVD kerfi.
Nýstárleg, nett hönnun
Aðlögun að nákvæmum skipulagi hólfa
Innra rými PECVD búnaðar er takmarkað og krefst þéttrar uppröðunar á aflgjöfum, merkjagjöfum og skynjunarlínum í kringum hvarfhólfið. picoMAX® notar einfjöðurs, tvívirka hönnun, með mörgum pinnabilum upp á 3,5/5,0/7,5 mm tiltækum. Eftir tengingu tekur það 30% minna pláss en fyrri vörur og aðlagast fullkomlega kröfum um raflögn í kringum hólfið. Götóttengi þess er næstum alveg fellt inn í pinnahausinn, sem styður samsetningu hlið við hlið án þess að missa pólana, bætir verulega nýtingu rafrásarborðsins og gerir kleift að raða merkjagjöfum og aflgjöfum skipulega án þess að trufla flæðissvið ferlisgassins.
Öflug vörn gegn öfgafullum rekstrarskilyrðum
PECVD-ferli fela í sér umhverfi með miklu lofttæmi, hátíðni plasma og titringi, sem gerir strangar kröfur um áreiðanleika tengja. picoMAX® er með stöðuga uppbyggingu með allt að 12 g titringsþol, sem kemur í veg fyrir að tengingar losni vegna hátíðni titrings. Það er einnig með hönnun sem kemur í veg fyrir rangar innsetningar og læsingarbúnað, sem útilokar uppsetningarvillur og kemur í veg fyrir óvart aftengingu, og tryggir samfelldan rekstur búnaðarins án niðurtíma.
Hraðtenging án verkfæra
picoMAX® býður upp á hraðtengingartækni án verkfæra, sem gerir kleift að tengja bæði einþráða og fjölþráða víra með kaldpressuðum tengjum með „stinga-í-stungu“ aðferð. Flóknar raflagnatengingar eru gerðar í einu skrefi, sem bætir verulega skilvirkni samsetningar og styttir villuleitarferla. Mátahönnunin er samhæf við endurflæðislóðunarferli og uppfyllir þarfir sjálfvirkrar framleiðslu um kostnaðarlækkun. Hún nær einnig yfir allar PECVD tengiaðstæður: 3,5 mm pinnabil rúmar 0,2-1,5 mm² merkjavíra, en 5,0/7,5 mm pinnabil styður 16A rafmagnslínur. Hún styður vír-í-borð og í gegnum vegg, er samhæf við stjórnskápa og holræsir og uppfyllir GB/T 5226.1 rafmagnsöryggisstaðla, sem byggir upp trausta vörn fyrir stöðugleika ferlisins.
Í hálfleiðaraiðnaðinum, þar sem nákvæmni í ferlum á nanómetrastigi er afar mikilvæg, eru áreiðanlegar tengingar trygging fyrir mikilli afköstum.WAGOpicoMAX®, með byltingarkenndri vöruhönnun, nær „lítil stærð, mikil afköst“ innan lítins rýmis og býður upp á stöðugar, skilvirkar og langvarandi tengingarlausnir fyrir PECVD búnað. Þetta hjálpar hálfleiðaraframleiðendum að sigrast á áskorunum nákvæmra ferlatenginga og tryggir nákvæmni á míkrómetrastigi hverrar örgjörva.
Birtingartími: 13. mars 2026